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设备配套

 

精密控厚夹具

产品特点:移除量在线监测,精度1μm(额外可外置显示);

压力灵活调整,最小100g;

适用于各类材料加工(软脆材料,小尺寸等);

高平行度

规格型号:3寸、4寸、5寸、6寸夹(其它非标规格可定制),
适用于磷化铟、氮化镓、碳化硅等各类材料精密加工用。

 

 

 

 

 

 

动力挡钩

该档钩装置是平面磨抛机的重要部件,不同于传统的固定位置档钩,动力档钩机构由电机驱动,实现陶瓷盘(金属盘)或夹具装置在可控的幅度内摇摆,在加工大面积且越过治具圆心的工件时,使工件在治具圆点的位置接受不同的加工线速度,从而提高工件的平面度精度。

产品特点:无极调速、数显、整体式,适用15寸~48寸机型。

 

 

 

 

 

半自动晶片贴蜡机

适用2-6寸单片或多片贴蜡,运行平稳,粘接精度高,维修使用方便。 

 

 

 

 

 

 

 

多功能CMP搅拌器

包含抛光液搅拌、PH在线监测、PH自动调节、温度在线监测、液位在线监测等;主要部件PVC材料可耐强酸、强碱;适用于碳化硅、氮化镓类加工加工条件比较极端的材料加工用。 

 

 

 

 

 

 

双通道抛光液供给系统

双通道供液,流量可灵活调节,最小流量0.29ml/min、最大流量5000ml/min,适用于大批量生产用(大流量循环的同时小流量滴加助剂)。 

 

 

 

 

 

 

搅拌喷射控制一体机

大容量强力搅拌,带液位监测,喷射、间隔时间灵活设定,两路喷射。 

 

 

 

 

 

 

四通道智能流量型蠕动泵

通过对泵的弹性输送软管交替进行挤压和释放来泵送流体。四通道,智能控制流量。

 

 

 

 

 

双通道数字转速型蠕动泵

通过对泵的弹性输送软管交替进行挤压和释放来泵送流体。双通道,数显控制流量。


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